122932
Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.11
2005, Томск
Химическая технология. Диссертация Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.11, Томск, 2005