126085
Микроэлектронная технология изготовления тонкопленочных датчиков газов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
2005, Воронеж
Электроника. Диссертация Микроэлектронная технология изготовления тонкопленочных датчиков газов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Воронеж, 2005