126090 Разработка научных основ создания и совершенствования базовых элементов микроэлектроники и микросистемной техники методами приборно-технологического моделирования : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01 Крупкина, Татьяна Юрьевна 2005, Москва

Электроника. Диссертация Разработка научных основ создания и совершенствования базовых элементов микроэлектроники и микросистемной техники методами приборно-технологического моделирования : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01, Москва, 2005