126123 Модификация электрофизических свойств пленки полиэтилентерефталата ионно-плазменным осаждением наноразмерных покрытий на основе углерода : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Федорова, Светлана Станиславовна 2005, Москва

Электроника. Диссертация Модификация электрофизических свойств пленки полиэтилентерефталата ионно-плазменным осаждением наноразмерных покрытий на основе углерода : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2005