126213
Формирование и электрические свойства планарных элементов на основе металлических и углеродных пленок наноразмерных толщин : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 Булатов, Андрей Николаевич
2005, Москва
Электроника. Диссертация Формирование и электрические свойства планарных элементов на основе металлических и углеродных пленок наноразмерных толщин : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Москва, 2005