Электроника. Диссертация Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0.35 мкн на кластерном технологическом оборудовании : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Москва, 2006