126322
Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 Мармалюк, Александр Анатольевич
2006, Москва
Электроника. Диссертация Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06, Москва, 2006