126322 Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 Мармалюк, Александр Анатольевич 2006, Москва

Электроника. Диссертация Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06, Москва, 2006