126341 Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Редичев, Евгений Николаевич 2006, Москва

Электроника. Диссертация Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2006