126392 Плазменные эмиссионные системы на базе разряда низкого давления для нанесения покрытий из мелкодисперсных материалов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02 Гребнев, Олег Игоревич 2007, Санкт-Петербург

Электроника. Диссертация Плазменные эмиссионные системы на базе разряда низкого давления для нанесения покрытий из мелкодисперсных материалов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02, Санкт-Петербург, 2007