126394
Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для азотирования титана : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02
2007, Томск
Электроника. Диссертация Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для азотирования титана : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02, Томск, 2007