126407 Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 Куликов, Дмитрий Юрьевич 2007, Воронеж

Электроника. Диссертация Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Воронеж, 2007