126462
Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
2007, Черноголовка
Электроника. Диссертация Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01, Черноголовка, 2007