126547 Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 Смирнов, Владимир Александрович 2008, Таганрог

Электроника. Диссертация Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Таганрог, 2008