126639
Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
2009, Москва
Электроника. Диссертация Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01, Москва, 2009