Электроника. Диссертация Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов, на основе силицидов и диэлектриков с высоким ε, полученных методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01, Москва, 2009