126720
Термические характеристики и стабильность тонких пленок на основе a-Si:H и его сплавов и халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Горшкова, Екатерина Викторовна
2010, Москва
Электроника. Диссертация Термические характеристики и стабильность тонких пленок на основе a-Si:H и его сплавов и халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2010