126720 Термические характеристики и стабильность тонких пленок на основе a-Si:H и его сплавов и халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Горшкова, Екатерина Викторовна 2010, Москва

Электроника. Диссертация Термические характеристики и стабильность тонких пленок на основе a-Si:H и его сплавов и халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2010