126760 Термическое окисление монокристаллов карбида кремния политипа 6Н : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 Рябинина, Ирина Александровна 2010, Воронеж

Электроника. Диссертация Термическое окисление монокристаллов карбида кремния политипа 6Н : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Воронеж, 2010