126769 Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 Невшупа, Роман Александрович 2010, Москва

Электроника. Диссертация Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06, Москва, 2010