126836
Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2011, Санкт-Петербург
Электроника. Диссертация Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Санкт-Петербург, 2011