126841
Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2011, Москва
Электроника. Диссертация Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2011