126928
Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2011, Москва
Электроника. Диссертация Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2011