126969
Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02
2011, Санкт-Петербург
Электроника. Диссертация Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02, Санкт-Петербург, 2011