126973
Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2011, Санкт-Петербург
Электроника. Диссертация Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Санкт-Петербург, 2011