126995 Особенности образования наноостровков в многослойных SiGe гетероструктурах и метод селективного легирования SiGe структур сегрегирующими примесями : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Юрасов, Дмитрий Владимирович 2012, Нижний Новгород

Электроника. Диссертация Особенности образования наноостровков в многослойных SiGe гетероструктурах и метод селективного легирования SiGe структур сегрегирующими примесями : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01, Нижний Новгород, 2012