429759 Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Сорокин, Святослав Игоревич 1998, Москва

Электроника. Диссертация Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 1998