429759
Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Сорокин, Святослав Игоревич
1998, Москва
Электроника. Диссертация Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 1998