Электроника. Диссертация Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01, Таганрог, 1998