429929 Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Вотинцева, Елена Евгеньевна 2000, Москва

Электроника. Диссертация Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2000