429988
Лазерная дифрактометрия дефекта контура микроотверстия : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.03
2000, Санкт-Петербург
Электроника. Диссертация Лазерная дифрактометрия дефекта контура микроотверстия : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.03, Санкт-Петербург, 2000