430005
Исследование и разработка методов защиты поверхности кремниевых фотодиодов с применением ионной имплантации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Сорокин, Константин Викторович
2000, Москва
Электроника. Диссертация Исследование и разработка методов защиты поверхности кремниевых фотодиодов с применением ионной имплантации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2000