430010
Получение слоев металлов и полупроводников сублимацией в ультратонком вакуумном промежутке : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2000, Новочеркасск
Электроника. Диссертация Получение слоев металлов и полупроводников сублимацией в ультратонком вакуумном промежутке : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Новочеркасск, 2000