Электроника. Диссертация Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07, Москва, 2000