430050 Материалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 Громов, Дмитрий Геннадьевич 2000, Москва

Электроника. Диссертация Материалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06, Москва, 2000