430056 Голографическая диагностика газофазных процессов микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Антоненко, Константин Иванович 2000, Москва

Электроника. Диссертация Голографическая диагностика газофазных процессов микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2000