430057
Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2000, Новочеркасск
Электроника. Диссертация Получение слоев кремния методом термомиграции в нестационарных температурных условиях : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Новочеркасск, 2000