430110
Исследование процессов формирования и защиты поверхности планарных p-n переходов и модернизация базовой технологии изготовления фотодиодов на основе InSb : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Талимов, Алексей Владимирович
2001, Москва
Электроника. Диссертация Исследование процессов формирования и защиты поверхности планарных p-n переходов и модернизация базовой технологии изготовления фотодиодов на основе InSb : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2001