430125
Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2001, Москва
Электроника. Диссертация Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2001