Электроника. Диссертация Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01, Ярославль, 2001