430170
Геттерирование электрически активных дефектов в полупроводниковых структурах : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
2002, Таганрог
Электроника. Диссертация Геттерирование электрически активных дефектов в полупроводниковых структурах : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Таганрог, 2002