430179
Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
2002, Москва
Электроника. Диссертация Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Москва, 2002