430190
Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
2002, Москва
Электроника. Диссертация Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01, Москва, 2002