430195 Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Панфилов, Игорь Владимирович 2002, Москва

Электроника. Диссертация Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2002