Электроника. Диссертация Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Москва, 2002