Электроника. Диссертация Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06, Москва, 2002