430215
Повышение оперативности управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП-ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2002, Калуга
Электроника. Диссертация Повышение оперативности управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП-ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Калуга, 2002