430224
Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
2002, Таганрог
Электроника. Диссертация Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Таганрог, 2002