430233
Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
2002, Москва
Электроника. Диссертация Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Москва, 2002