430240 Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.03 Шахно, Елена Аркадьевна 2002, Санкт-Петербург

Электроника. Диссертация Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.03, Санкт-Петербург, 2002