430240
Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.03 Шахно, Елена Аркадьевна
2002, Санкт-Петербург
Электроника. Диссертация Физико-технологические основы лазерной обработки систем пленка-подложка : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.03, Санкт-Петербург, 2002