430247 Теплофизические свойства микросистем на основе структур "карбид кремния на изоляторе" : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 Никитин, Илья Владимирович 2002, Санкт-Петербург

Электроника. Диссертация Теплофизические свойства микросистем на основе структур "карбид кремния на изоляторе" : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Санкт-Петербург, 2002