430250 Самоорганизация многослойных металлургических структур для контактных систем суб-100 нм КМОП ИС : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 Хорин, Иван Анатольевич 2002, Москва

Электроника. Диссертация Самоорганизация многослойных металлургических структур для контактных систем суб-100 нм КМОП ИС : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01, Москва, 2002