430265 Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Епимахов, Игорь Дмитриевич 2003, Москва

Электроника. Диссертация Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2003